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专利名称 | 闪存控制栅极板间电容的晶圆允收测试图形 |
申请日 | 2018-12-19 |
申请号/专利号 | CN201811553646.7 |
专利权人 | 上海华力集成电路制造有限公司 |
申请人 | 上海华力集成电路制造有限公司 |
发明人/设计人 | 张金霜;田志;陈昊瑜;王奇伟;邹荣 |
公告日 | 2019-04-19 |
公告号 | CN109659297A |
法律状态 | 审中 |
专利类型 | 发明 |
行业分类 | 集成电路 |
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