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专利名称一种用于矫正塑封平板翘曲的半导体装置及矫正方法
申请日2018-12-19
申请号/专利号CN201811562108.4
专利权人华进半导体封装先导技术研发中心有限公司
申请人华进半导体封装先导技术研发中心有限公司
发明人/设计人姚大平
公告日2019-05-24
公告号CN109801859A
法律状态审中
专利类型发明
行业分类集成电路

摘要

本发明涉及集成电路先进封装技术领域,具体涉及一种用于矫正包含集成电路芯片的塑封平板翘曲的半导体装置及矫正方法。其中半导体装置包括:承载结构,包括用于承载塑封平板的承载区,承载区为平面设置;真空通道,设于承载结构上,且与承载区连通设置,用于对塑封平板和承载区之间的间隙施加真空;压制结构,设置于承载结构上方且沿垂直于承载区方向往返移动,压制结构具有与塑封平板对应设置且用于对塑封平板无裸露芯片处施加矫正压力的压制端,压制端与塑封平板的接触面为平面;加热结构,设于承载结构和/或压制结构上,用于对塑封平板加热升温。本发明的半导体装置在矫正时不容易损坏裸露芯片且矫正效果好。
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