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专利名称用于矫正包含集成电路芯片的塑封平板翘曲的承载结构
申请日2018-12-19
申请号/专利号CN201811562107.X
专利权人华进半导体封装先导技术研发中心有限公司
申请人华进半导体封装先导技术研发中心有限公司
发明人/设计人姚大平
公告日2019-05-17
公告号CN109768003A
法律状态审中
专利类型发明
行业分类集成电路

摘要

本发明涉及矫正技术领域,具体涉及一种用于矫正包含集成电路芯片的塑封平板翘曲的承载结构,包括:气道层,气道层的上表面形成有用于承载塑封平板的承载区,承载区为平面设置,还包括设置于承载区下方的第一流道;加热层,设置于气道层下方,加热层设置有形成加热区的加热结构,加热区与承载区对应设置,且加热结构与第一流道交错分布,以使塑封平板受热均匀。其中矫正装置包括:承载结构,还包括设置于承载结构上方的压制平台,压制平台沿垂直于所述承载区方向往复移动,用于对下方的塑封平板施加压力。本发明的用于矫正包含集成电路芯片的塑封平板翘曲的承载结构对塑封平板的加热较为均匀、矫正后的塑封平板的平整化程度较高。
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