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专利名称一种晶圆胶膜抽水装置
申请日2018-12-17
申请号/专利号CN201822111814.9
专利权人江苏汇成光电有限公司
申请人江苏汇成光电有限公司
发明人/设计人杨爱平;陈志远;高美山;姜红涛;黄金良;刘磊;聂伟
公告日2019-08-27
公告号CN209312723U
法律状态有效
专利类型实用新型
行业分类集成电路

摘要

本实用新型公开了半导体集成电路领域内的一种晶圆胶膜抽水装置,包括抽水壶,所述抽水壶包括壶体,壶体顶部设置有壶嘴,壶嘴外周设置有外螺纹,壶嘴上连接有壶盖,壶盖内周对应壶嘴设置有内螺纹,内螺纹与外螺纹相匹配设置,所述壶盖中部连接有吸水管,吸水管与壶体内部相连通,吸水管呈钩状,吸水管包括竖直段、折弯段和倾斜段,所述吸水管倾斜段向下倾斜设置,吸水管倾斜段的吸水口也倾斜设置;所述壶体侧面上部连接有真空吸管,真空吸管一端与壶体内部相连通,真空吸管上设置有调压阀,真空吸管另一端与抽真空装置相连。本实用新型能够快速清除晶圆胶膜上的水滴,提高人员工作效率,操作方便一步到位,减少人员的等待时间。
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