便携式应急电源
镀铜焊丝的缺陷检测方法、装置、设...
电码的自动识别方法及存储介质
基于强化学习的楼栋摆放方法、装置...
用于观测水下生物的系统及其方法
一种电子设备的空中固件差分升级方...
一种印刷模切张力自动控制系统及其...
低功耗状态监控设备
一种利用RTP扩展头部解决视频帧...
一种高衍射效率相位型空间光调制器...
一种家装板材运输用包装机器人
航空发动机精密管路及其航空发动机...
宽光谱吸收的薄膜太阳能电池及光伏...
一种基于磁通压缩的脉冲磁体装置及...
一种总线访问仲裁装置及方法
一种处理网络抖动的方法及装置
基于光芯片的数据处理方法、装置、...
一种基于小基线条件下的大畸变广角...
一种自动识别设备间网络拓扑结构的...
基于光芯片的数据处理方法、装置、...
企业介绍页面,左右侧内容分别复制到相应容器即可,起始结束位置代码已作标注
专利名称一种压电MEMS超声波传感器及其制造方法
申请日2018-12-17
申请号/专利号CN201811542027.8
专利权人智驰华芯(无锡)传感科技有限公司;无锡智行华芯高科技投资合伙企业(有限合伙)
申请人智驰华芯(无锡)传感科技有限公司;无锡智行华芯高科技投资合伙企业(有限合伙)
发明人/设计人黄宏林;王俊
公告日2019-03-22
公告号CN109502541A
法律状态审中
专利类型发明
行业分类集成电路

摘要

本发明公开了一种压电MEMS超声波传感器及其制造方法,涉及传感器技术领域,本申请采用了MEMS工艺进行超声波传感器的制造,在硅基片上采用类似集成电路的光刻、刻蚀等方法实现传感器的制造,同时区别于传统的超声波传感器基于压电陶瓷的方案,本申请提出的超声波传感器基于微米厚度的压电薄膜,且基于弯曲振动模式,所制造的超声波传感器的尺寸可以小到毫米量级,因此采用本申请公开的制造方法制造得到的超声波传感器具有尺寸小、一致性高以及可以批量制造的优点,而且能够很容易实现阵列,扩展了超声波传感器的应用范围。
  关于我们  | 帮助中心  |  服务清单  |  发展历程 |  网站地图  |  手机访问

Copyrights 2016-2020  

南京锐阳信息科技有限公司 版权所有

苏ICP备17027521号-1

地址: 南京市秦淮区永智路5号五号楼3层