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专利名称一种有源激光彩色显示模块生产方法
申请日2018-12-07
申请号/专利号CN201811491237.9
专利权人矽照光电(厦门)有限公司
申请人矽照光电(厦门)有限公司
发明人/设计人潘小和
公告日2019-01-29
公告号CN109286135A
法律状态审中
专利类型发明
行业分类集成电路

摘要

本发明公开了一种有源激光彩色显示模块生产方法,在第一晶圆基底上外延生长短波长III‑V族半导体量子发光外延薄膜,生长分布式布拉格反射光栅作为垂直腔面发射激光器的底部反射层;制作有源矩阵显示控制电路,镀一层金属薄膜;进行金属粘合;将带有分布式布拉格反射光栅发射层的量子发光外延片的衬底剥离;选择性地等离子刻蚀形成二维发光阵列;用介质填平表面,形成圆柱形金属电极阵列;用介质再次填平表面,将表面平整;镀一层透明通用电极;生长分布式布拉格反射光栅作为顶部反射层;设置彩色像素阵列。本发明提供了能够规模生产的高密度的有源激光彩色显示模块的有源激光彩色显示模块生产方法,可以规模生产有源激光彩色显示模块。
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