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专利名称一种提高在测试探针台上对探针保护效率的方法及装置
申请日2018-12-04
申请号/专利号CN201811472063.1
专利权人上海华岭集成电路技术股份有限公司
申请人上海华岭集成电路技术股份有限公司
发明人/设计人王玉龙;王华;凌俭波;马健;王锦;叶建明
公告日2019-06-07
公告号CN109848798A
法律状态审中
专利类型发明
行业分类集成电路

摘要

本发明公开了一种提高在测试探针台上对探针保护效率的方法及装置,将放置磨针单元的底座设计成抽屉式柱状体,抽屉式柱状体最外圈除了正前方那面,其余三面用铁板固定起来,垂直于底座,在铁板中间用隔板将中间区域等分出来,用于放置磨针单元,在底座上用一个可旋转的铁棒来固定所有磨针单元;本发明提供的一种提高在测试探针台上对探针保护效率的方法及装置,通过对探针台放置cleaningunit的底座结构进行改造,做成抽屉式柱状体,来达到可以存放多个cleaningunit的目的,多个cleaningunit上可以放置不同的砂纸类型,方便随时更换进行实验对比。
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