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专利名称一种集成电路封测凸块供气管路
申请日2018-11-30
申请号/专利号CN201821996488.8
专利权人江苏汇成光电有限公司
申请人江苏汇成光电有限公司
发明人/设计人徐秋宝;戴宝洋
公告日2019-08-02
公告号CN209199883U
法律状态有效
专利类型实用新型
行业分类集成电路

摘要

本实用新型公开了空气动力供应设备领域内的一种集成电路封测凸块供气管路,包括2台并联设置的储气罐一,储气罐一的进气口与空压系统相连,储气罐的出气口与过滤系统相连,所述过滤系统包括3条并联设置的过滤管路,过滤管路上依次设置有AO过滤器、冷干机、AA过滤器一、吸干机、AR过滤器和AA过滤器二,AA过滤器二的出气口与用气管网相连;任意一条所述过滤管路上靠近AO过滤器的一端设有压力传感器,所述过滤管路靠近AA过滤器二的一端设有控制器;任意一条所述过滤管路上AA过滤器一的出气口与AR过滤器的进气口之间设有旁通管路一,旁通管路一上设有电动阀门,所述控制器与电动阀门相连接。本实用新型能够保证气源稳定供应。
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