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专利名称一种集成电路板研磨装置
申请日2018-11-30
申请号/专利号CN201821993589.X
专利权人苏州赛森电子科技有限公司
申请人苏州赛森电子科技有限公司
发明人/设计人伍志军
公告日2019-09-20
公告号CN209408250U
法律状态有效
专利类型实用新型
行业分类集成电路

摘要

本实用新型公开了一种集成电路板研磨装置,涉及集成电路板加工技术领域。在本申请中,集成电路板研磨装置,包括:底座;放置部,该放置部固定连接于底座,该放置部具有:托盘,该托盘连接在底座的内部;防护罩,该防护罩设置在托盘的上表面;输送部,该输送部固定连接于该底座;移动部,该移动部连接于该底座;研磨部,该研磨部连接于该移动部;及固定部,该固定部连接于该底座。本申请通过研磨部对集成电路板存在高低起伏不平的表面进行研磨,解决光刻时无法被精确对焦的问题,提高产品平坦程度。
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