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专利名称一种产线缺陷图像智能分类系统及分类方法
申请日2018-11-29
申请号/专利号CN201811440961.9
专利权人上海集成电路研发中心有限公司
申请人上海集成电路研发中心有限公司
发明人/设计人王鹏飞;傅豪
公告日2019-04-16
公告号CN109635856A
法律状态审中
专利类型发明
行业分类集成电路

摘要

本发明公开了一种产线缺陷图像智能分类系统,包括缺陷数据输入模块,用于读入产线生成的缺陷图像数据;缺陷数据格式转换模块,用于将缺陷图像的数据格式转换为所需的图像数据格式;多层次智能分类模块,用于对数据格式转换后的缺陷图像采用多层分类方式进行智能分类;分类结果输出模块,用于输出已分类且已达系统分类性能要求的缺陷种类。本发明应用了基于深度学习的多层次智能分类模块,及具有提升算法的神经网络分类单元组成多层分类器,利用软件系统对产线缺陷图片进行分类,从而可提高缺陷数据分析效率,减轻相关制造企业在缺陷数据分析领域所耗费的资源。本发明还公开了一种产线缺陷图像智能分类方法。
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