便携式应急电源
镀铜焊丝的缺陷检测方法、装置、设...
电码的自动识别方法及存储介质
基于强化学习的楼栋摆放方法、装置...
用于观测水下生物的系统及其方法
一种电子设备的空中固件差分升级方...
一种印刷模切张力自动控制系统及其...
低功耗状态监控设备
一种利用RTP扩展头部解决视频帧...
一种高衍射效率相位型空间光调制器...
一种家装板材运输用包装机器人
航空发动机精密管路及其航空发动机...
宽光谱吸收的薄膜太阳能电池及光伏...
一种基于磁通压缩的脉冲磁体装置及...
一种总线访问仲裁装置及方法
一种处理网络抖动的方法及装置
基于光芯片的数据处理方法、装置、...
一种基于小基线条件下的大畸变广角...
一种自动识别设备间网络拓扑结构的...
基于光芯片的数据处理方法、装置、...
企业介绍页面,左右侧内容分别复制到相应容器即可,起始结束位置代码已作标注
专利名称集成电路电容器阵列结构及半导体存储器
申请日2018-11-28
申请号/专利号CN201821975221.0
专利权人长鑫存储技术有限公司
申请人长鑫存储技术有限公司
发明人/设计人不公告发明人
公告日2019-07-09
公告号CN209087830U
法律状态有效
专利类型实用新型
行业分类集成电路

摘要

本实用新型提供一种集成电路电容器阵列结构及半导体存储器,集成电路电容器阵列结构包括:衬底;下电极层,突出的位于衬底上,由下电极层内形成有电容孔;电容介质层,共形地覆盖下电极层的表面;上电极层,共形地覆盖电容介质层的表面;电容极板,区块状位于衬底上并形成于上电极层上,电容极板包括由下至上依次叠置的金属填充层及共形地覆盖金属填充层的导电覆盖层,导电覆盖层构成为上电极结构的顶表面层及侧表面层,以供接合至少一第一互连结构于顶表面层上。本实用新型提供的集成电路电容器阵列结构可以有效避免电容器漏电;同时,在形成电容极板时可仅沉积金属填充层/导电覆盖层作为电容极板即可保证低电阻。
  关于我们  | 帮助中心  |  服务清单  |  发展历程 |  网站地图  |  手机访问

Copyrights 2016-2020  

南京锐阳信息科技有限公司 版权所有

苏ICP备17027521号-1

地址: 南京市秦淮区永智路5号五号楼3层