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专利名称一种拆除工具
申请日2018-11-26
申请号/专利号CN201821971571.X
专利权人武汉新芯集成电路制造有限公司
申请人武汉新芯集成电路制造有限公司
发明人/设计人魏远哲;刘焰平
公告日2019-07-26
公告号CN209158236U
法律状态有效
专利类型实用新型
行业分类集成电路

摘要

本实用新型提供一种拆除工具,用于拆除安装在底座上的静电吸盘,其中包括:一环体;环体的内壁下部至少设置一个导向槽,导向槽于环体的内壁的下缘设置一开口,导向槽用以于环体旋转时引导嵌入导向槽中的物体向上运动;环体的上部分设着力点,用以供使用者旋转环体时施力。本实用新型的技术方案有益效果在于:利用环体移除静电吸盘,避免人工拆卸而造成肌肉拉伤,避免静电吸盘背面连接的零件因人工拆卸用力不均匀而导致损坏,降低了生产成本。
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