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专利名称一种晶圆加工设备及炉管晶圆加工时间的调节方法
申请日2018-11-21
申请号/专利号CN201811394171.1
专利权人武汉新芯集成电路制造有限公司
申请人武汉新芯集成电路制造有限公司
发明人/设计人罗福平
公告日2019-03-29
公告号CN109545715A
法律状态审中
专利类型发明
行业分类集成电路

摘要

本发明涉及半导体技术领域,尤其涉及一种晶圆加工设备,包括:炉管,存储有用于控制炉管的晶圆处理时间的时间参数;气压传感器,用于采集炉管外部的大气压力信息;处理器,分别连接炉管和气压传感器,以根据气压传感器采集的大气压力信息及预存的修正数据调节炉管的时间参数;以及一种炉管晶圆加工时间的调节方法;包括:步骤S1,采集炉管外部的大气压力信息;步骤S2,根据预设的修正数据和气压传感器采集的大气压力信息,调节炉管的时间参数;不需要人工调节炉管,实现了炉管加工时间的自动调节,保证了调节的准确性和实时性。
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