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| 专利名称 | 一种晶圆目检治具 |
| 申请日 | 2018-11-20 |
| 申请号/专利号 | CN201821913029.9 |
| 专利权人 | 厦门市三安集成电路有限公司 |
| 申请人 | 厦门市三安集成电路有限公司 |
| 发明人/设计人 | 陈军;陈毅志;蔡文必 |
| 公告日 | 2019-08-23 |
| 公告号 | CN209296595U |
| 法律状态 | 有效 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 行业分类 | 集成电路 |
摘要
本实用新型公开了一种晶圆目检治具，包括环形本体、支撑柱和固定环，复数个的支撑柱设置在环形本体上，固定环固定在环形本体的内环中并与环形本体形成凸台，环形本体具有至少一凹槽和一把柄。本实用新型能适用于不同的载体产品载物盘，提高目检效率。
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