本实用新型提供一种显影槽湿润装置，包括显影槽、喷头和供水单元，显影槽的内壁顶部设置有环形凹槽，喷头设置在环形凹槽内，喷头用于对显影槽的内侧面进行喷淋，供水单元与喷头管连接设置，供水单元用于为喷头提供水。在显影槽内安装喷头，喷头可以朝向显影槽的内侧面进行喷淋，喷淋液通过供水单元提供，而喷淋也为超纯水，因此在进行光阻喷涂时，使得甩至显影槽侧壁上的光阻不会粘附在侧壁上，避免显影槽附着光阻，提高显影槽内的洁净度，降低喷涂光阻的生产成本。