本实用新型提供一种防止加工造成二次污染的喷气防撞装置，包括防撞单元和旋转升降机构，旋转升降机构包括放置台架、旋转气管、固定气管、升降单元、动力单元和真空泵。旋转升降机构的升降单元上升，使得吸盘通过真空泵抽真空吸附固定晶圆，在回降时，通过防撞单元的检测，使得放置台架停止的位置不会与其它的设备或机架碰撞，使得晶圆不会与放置台架之外的设备相互触碰，达到避免晶圆与放置台架相互碰撞损坏的目的。而在清洗时，通过放置台架侧面的环形喷气口对放置于放置台架顶面的晶圆进行吹气，将渗流至晶圆背面的清洗液吹除，避免渗流至晶圆背面的清洗液对晶圆造成污染。因此解决了清洗对晶圆污染，以及晶圆在升降时破损的问题。