本实用新型公开一种有效改善高粘度光阻涂布气泡的装置，包括稳定压差单元、控制单元、调压输送装置和换向阀，换向阀的第二出口管连接设置有光阻输送管。通过控制稳定压差单元，将调压输送装置内的光阻抽取至稳定压差单元内。在进行喷涂时，将光阻从稳定压差单元内挤压出去，通过设定喷涂的用量，以及调整换向阀的方向，使得光阻通过光阻输送管输送至喷涂工作台上，经过光阻输送管末端上的喷头将光阻均匀的喷涂在晶圆上，同时达到控制光阻喷头的回吸量。继而再由调压输送装置内抽取光阻，补充至稳定压差单元中。由于在输送光阻过程中压差不变，且通过过滤光阻内的气体，避免气泡的产生，提高了产品生产的效率和质量。