本实用新型公开一种减少显影管路气泡的装置，包括增压罐、除气泡装置和过滤器；增压罐的输出口与除气泡装置的入口管连接，除气泡装置的出口与过滤器的输入端管连接，过滤器的输出端管连接的设置有喷头，除气泡装置用于过滤清除显影管路中显影液内的气体，增压罐用于存储显影液。通过向增压罐内输送惰性气体，使得增压罐内的显影液朝向显影管路中输送，通过除气泡装置清除溶解在显影液内或与显影液混合输送的气体，在极大程度上减少显影液中的气体。而且使用过滤器对显影液中的杂质进行过滤，保证了显影液的纯净度，进而通过喷头喷洒晶圆时，晶圆表面的显影良好，提高了产品的优良率。