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专利名称一种3D高密度互联的PoP塑封器件制备方法
申请日2018-11-13
申请号/专利号CN201811347999.1
专利权人无锡中微高科电子有限公司
申请人无锡中微高科电子有限公司
发明人/设计人杨婷;李宗亚;敖国军
公告日2019-04-02
公告号CN109559996A
法律状态审中
专利类型发明
行业分类集成电路

摘要

本发明属于集成电路封装技术领域,涉及一种3D高密度互联的PoP塑封器件制备方法,包括在常规MCM基板正面进行器件贴装,并完成塑封;在基板背面通过刷锡膏的方式,一次性完成SMT器件贴装和铜柱贴装,并完成基板背面的二次塑封;对基板背面塑封体减薄,露出铜柱,并在铜柱露出端完成植球;本发明的3D高密度互联的PoP塑封器件是在基于PoP塑封器件形式上,使用常规刷锡膏、植铜柱工艺代替垂直模块通孔工艺,可降低工艺难度和成本,无需前期设备投入,在实现器件间的3D堆叠的同时,进一步提高3D方向互联密度。
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