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专利名称基于薄膜体声波谐振器的偏振型红外探测器的制备方法
申请日2018-11-12
申请号/专利号CN201811340894.3
专利权人中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请人中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
发明人/设计人梁中翥;陶金;孟德佳;梁静秋;秦余欣;吕金光
公告日2019-03-22
公告号CN109502540A
法律状态审中
专利类型发明
行业分类集成电路

摘要

基于薄膜体声波谐振器的偏振型红外探测器的制备方法涉及红外探测技术领域,解决了制备方法所得红外探测器吸收率较低和红外偏振探测器结构和性能均需要提高的问题,包括制备薄膜体声波谐振器;薄膜体声波谐振器上依次制备金属反射层、介质层和金属阵列层;制备读出集成电路衬底;连接读出集成电路衬底和薄膜体声波谐振器;金属阵列层由复数个特性方向一致的金属单元组成。本发明的制备方法具有集成制造、批量生产、成本低廉等优势;利用金属阵列层实现对红外光谱的偏振光吸收和增强吸收,吸收的能量作用于薄膜体声波谐振器上,提高吸收率;制备的红外探测器体积重量小且成本低廉、有传统非制冷红外探测的优点,且响应快速、探测灵敏度高。
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