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专利名称硅通孔检测电路及集成电路
申请日2018-11-09
申请号/专利号CN201821846291.6
专利权人长鑫存储技术有限公司
申请人长鑫存储技术有限公司
发明人/设计人林祐贤;吕翼君;杨正杰
公告日2019-10-25
公告号CN209542774U
法律状态有效
专利类型实用新型
行业分类集成电路

摘要

本公开是关于一种硅通孔检测电路及集成电路,该硅通孔检测电路包括第一检测模块和第二检测模块,第一检测模块,包括:第一比较单元、第一输入单元和第一开关单元,第一输入单元用于在第一时钟信号控制下将输入信号传输至所述第一比较单元的第一输入端;第一开关单元用于在第一检测控制信号控制下将第一节点的信号传输至所述第一比较单元的第二输入端,所述第一节点连接于硅通孔的第一端;第二检测模块,包括:第二输入单元和第二开关单元,第二输入单元用于在第二时钟信号控制下将所述输入信号传输至第二节点;第二开关单元用于在第二检测控制信号控制下将第二节点的信号传输至硅通孔的第二端。
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