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专利名称 | 一种集成电路离板高度测量装置及测量方法 |
申请日 | 2018-11-09 |
申请号/专利号 | CN201811329384.6 |
专利权人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
申请人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
发明人/设计人 | 王玉龙;石宝松;张艳鹏 |
公告日 | 2019-03-29 |
公告号 | CN109539944A |
法律状态 | 审中 |
专利类型 | 发明 |
行业分类 | 集成电路 |
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