本实用新型公开了一种光刻工艺中液体材料的输送装置，包括储存容器、泵、过滤器、四个阀门，泵的入口与储存容器通过管道相连接，第一阀门设于泵的出口和过滤器的第一接口之间，第二阀门设于过滤器的第二接口和喷嘴之间，第三阀门的一端通过管道连接在泵的出口和第一阀门之间，第三阀门的另一端通过管道连接在过滤器的第二接口和第二阀门之间，第四阀门的一端通过管道连接在第一阀门和过滤器第一接口之间，第四阀门的另一端通过管道连接至回收容器中；第一阀门和第二阀门的开关状态相同，第三阀门和第四阀门的开关状态相同。本实用新型可以加强对过滤膜上吸附颗粒的冲洗效果，有效减少旋涂后的缺陷数，降低更换过滤器和管道清洗所增加的生产成本。