本实用新型公开了一种传送不同污染程度硅片的导片机，不同污染程度的硅片装在相对应的晶圆盒中，每个晶圆盒具有一个ID信息，所述ID信息包括晶圆盒的污染类型，所述导片机包括控制单元、晶圆盒识别单元、多个硅片传送手臂，其中晶圆盒识别单元和硅片传送手臂均与控制单元电性连接，晶圆盒识别单元通过晶圆盒的ID信息判断晶圆盒的污染程度并传输至控制单元中，每个硅片传送手臂可滑动地安装在一个传送手臂导轨上。本实用新型可以根据传片任务及自动识别的晶圆盒污染类型调用相应污染程度的硅片传送手臂，实现一台机器完成不同污染程度的硅片传送动作，提高了导片机的利用率，避免了误操作，而且每次传片完成后可以对动作的硅片传送手臂进行自清洁。