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专利名称一种芯片封装方法
申请日2018-11-05
申请号/专利号CN201811309458.X
专利权人中芯集成电路(宁波)有限公司
申请人中芯集成电路(宁波)有限公司
发明人/设计人石虎;刘孟彬
公告日2019-03-12
公告号CN109461666A
法律状态审中
专利类型发明
行业分类集成电路

摘要

本发明提供一种芯片封装方法,在一承载片上贴覆临时粘结膜,将一芯片形成有焊盘的表面贴覆至所述临时粘结膜上,所述焊盘与所述临时粘结膜之间具有空隙,再将载有芯片的承载片在设定的压力、设定的温度进行烘烤,使所述临时粘结膜凸伸入所述空隙并与所述焊盘相接触。本发明在芯片形成有焊盘的表面贴覆至临时粘结膜后,通过控制烘烤温度和压力,增大芯片与临时粘结膜的接触面积,进而增加粘结力,改善后续塑封工艺中的芯片漂移问题。
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