本实用新型提供了一种集成电路制程异常的定位装置，包括：输入数据类型以及产品预设的编号信息；显示与被输入所述编号信息的所述产品相关的制程量测信息，并从所述若干制程量测信息中选择目标制程量测信息，所述目标制程量测信息与输入的所述数据类型相符合；显示所选择的所述制程量测信息，并将所述制程量测信息中处于预设阈值范围之外的量测数据进行标记，实现对所述集成电路制程异常的定位。本实用新型实施例的技术方案通过系统收集量测结果，利用图表将监测结果进行纵向比较，并与目标值进行比较，实现监测集成电路制程的健康程度。