本实用新型公开了一种六氟化硫取样系统，它包括：电子质量流量控制器、压力传感器和电压监测模块均通过A/D转换模块与处理器CPU连接；处理器CPU还通过D/A转换模块与电子质量流量控制器连接；处理器CPU还和显示屏连接，用于显示六氟化硫的流量数据；键盘与处理器CPU连接，用于输入对六氟化硫流量的控制信号；处理器CPU通过驱动电路控制电磁阀和真空泵；电源电路与处理器CPU连接，用于给整个系统供电。本取样装置采用便携式发明，自备电池，也可外接电源，气路接头采用快插管联接方式，现场可迅速开展工作。装置利用片上系统集成电路实现智能自动化操作，所有开关、流量控制均可编程定时控制，并具备状态提示与报警功能。