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专利名称一种三维集成电路散热系统
申请日2018-10-31
申请号/专利号CN201811290487.6
专利权人西安理工大学
申请人西安理工大学
发明人/设计人王凤娟;李玥;余宁梅
公告日2019-04-02
公告号CN109560050A
法律状态审中
专利类型发明
行业分类集成电路

摘要

本发明公开了一种三维集成电路散热系统,包括设置在三维集成电路两侧的支撑架,支撑架顶部固定有气体冷却器,气体冷却器进气口连接有气体通道b,气体通道b自由端位于三维集成电路一端内部,气体冷却器出气口连接有气体通道a,气体通道a自由端位于三维集成电路另一端内部。本发明采用气体散热,所需芯片衬底中微通道横截面小,可满足超薄芯片的使用,解决了三维集成电路尺寸不断减小,散热空间不足的问题。
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