便携式应急电源
镀铜焊丝的缺陷检测方法、装置、设...
电码的自动识别方法及存储介质
基于强化学习的楼栋摆放方法、装置...
用于观测水下生物的系统及其方法
一种电子设备的空中固件差分升级方...
一种印刷模切张力自动控制系统及其...
低功耗状态监控设备
一种利用RTP扩展头部解决视频帧...
一种高衍射效率相位型空间光调制器...
一种家装板材运输用包装机器人
航空发动机精密管路及其航空发动机...
宽光谱吸收的薄膜太阳能电池及光伏...
一种基于磁通压缩的脉冲磁体装置及...
一种总线访问仲裁装置及方法
一种处理网络抖动的方法及装置
基于光芯片的数据处理方法、装置、...
一种基于小基线条件下的大畸变广角...
一种自动识别设备间网络拓扑结构的...
基于光芯片的数据处理方法、装置、...
企业介绍页面,左右侧内容分别复制到相应容器即可,起始结束位置代码已作标注
专利名称NMOS管及其制造方法
申请日2018-10-29
申请号/专利号CN201811267166.4
专利权人上海华力集成电路制造有限公司
申请人上海华力集成电路制造有限公司
发明人/设计人陈品翰
公告日2019-03-26
公告号CN109524470A
法律状态审中
专利类型发明
行业分类集成电路

摘要

本发明公开了一种NMOS管,包括:在硅衬底的表面形成有P阱;在P阱表面形成有栅极结构;在栅极结构的两侧形成有凹槽;在凹槽中嵌入式外延层,嵌入式外延层包括:硅种子层,硅磷主体层,位于硅磷主体层和硅种子层之间的硅磷缓冲层,突出到凹槽顶部的硅盖帽层;硅磷主体层具有磷重掺杂的结构,硅磷缓冲层具有磷轻掺杂的结构;磷轻掺杂的硅磷缓冲层用于减少嵌入式外延层的磷向周侧的P阱中外扩的数量从而减少并防止外扩的磷对的沟道的影响。本发明还公开了一种NMOS管的制造方法。本发明能改善器件的短沟道效应并从而改善器件的稳定度。
  关于我们  | 帮助中心  |  服务清单  |  发展历程 |  网站地图  |  手机访问

Copyrights 2016-2020  

南京锐阳信息科技有限公司 版权所有

苏ICP备17027521号-1

地址: 南京市秦淮区永智路5号五号楼3层