本公开提供了一种用于微波半导体集成电路电气特性测量的校准装置，包括主控单元、微波半导体器件多参数测试设备、校准通道路由单元、功率校准模块、标准信号发生模块和矢量网络分析仪校准模块；其中所述主控单元被配置为通过外部程控与供电功能，接收来自微波半导体器件多参数测试设备的校准配置信息和程控命令；和通过校准通道路由单元为测试端口分别构建相应的输出信号功率校准通道、信号接收特性校准通道和散射参数测试特性校准通道；所述功率校准模块、标准信号发生模块和矢量网络分析仪校准模块被配置为通过单次连接方式进行相应参数特性测试的自动校准。