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专利名称 | 一种气体除尘装置及具有该气体除尘装置的气体处理装置 |
申请日 | 2018-10-26 |
申请号/专利号 | CN201821753440.4 |
专利权人 | 合肥晶合集成电路有限公司 |
申请人 | 合肥晶合集成电路有限公司 |
发明人/设计人 | 杨翼虎;赵琼;何毓纬 |
公告日 | 2019-07-19 |
公告号 | CN209123507U |
法律状态 | 有效 |
专利类型 | 实用新型 |
行业分类 | 集成电路 |
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