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专利名称一种涂胶显影机光阻补液系统的排气管路
申请日2018-10-15
申请号/专利号CN201821668949.9
专利权人上海华力集成电路制造有限公司
申请人上海华力集成电路制造有限公司
发明人/设计人黄斌;程奥博
公告日2019-06-14
公告号CN208984949U
法律状态有效
专利类型实用新型
行业分类集成电路

摘要

本实用新型提供了一种涂胶显影机光阻补液系统的排气管路,包括一积液瓶,所述积液瓶上表面设置有多个管道连接孔;一光阻瓶,所述光阻瓶内设置有光阻袋,所述光阻袋内装有光阻液;一光阻瓶阀门,设置于所述光阻瓶和积液瓶的连接管道上;一光阻补液泵;一光阻补液泵阀门,设置于所述光阻补液泵和积液瓶的连接管道上;一排气管,连接所述积液瓶;一微型瓶,设置于排气管管路上,并在侧面设置通孔连接两端的排气管;一微型瓶阀门。本实用新型在排气管路上设置增加一个带有液位感知的微型瓶来定期排出倒流到排气管路上的光阻从而防止排气管路堵塞,防止积液瓶的排气管路堵塞,倒流的光阻会聚集在微型瓶中不会导致排气管路堵塞。
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