便携式应急电源
镀铜焊丝的缺陷检测方法、装置、设...
电码的自动识别方法及存储介质
基于强化学习的楼栋摆放方法、装置...
用于观测水下生物的系统及其方法
一种电子设备的空中固件差分升级方...
一种印刷模切张力自动控制系统及其...
低功耗状态监控设备
一种利用RTP扩展头部解决视频帧...
一种高衍射效率相位型空间光调制器...
一种家装板材运输用包装机器人
航空发动机精密管路及其航空发动机...
宽光谱吸收的薄膜太阳能电池及光伏...
一种基于磁通压缩的脉冲磁体装置及...
一种总线访问仲裁装置及方法
一种处理网络抖动的方法及装置
基于光芯片的数据处理方法、装置、...
一种基于小基线条件下的大畸变广角...
一种自动识别设备间网络拓扑结构的...
基于光芯片的数据处理方法、装置、...
企业介绍页面,左右侧内容分别复制到相应容器即可,起始结束位置代码已作标注
专利名称一种集成电路中实现多层布线结构的方法
申请日2018-10-08
申请号/专利号CN201811166330.2
专利权人嘉兴市志华机械有限公司
申请人嘉兴市志华机械有限公司
发明人/设计人顾四观
公告日2019-03-15
公告号CN109473417A
法律状态审中
专利类型发明
行业分类集成电路

摘要

本发明公开了一种集成电路中实现多层布线结构的方法,属于集成电路布线技术领域。包括以下步骤,S1:形成金属布线层,其中金属布线层至少具有第一区域金属布线层和第二区域金属布线层,所述第二区域金属布线层与第一区域金属布线层不相连;S2:形成所述金属布线层的上层布线结构;S3:在所述金属布线层上形成绝缘介质层;S4:在所述绝缘介质层中钻蚀形成通孔;S5:在通孔中填充导电材料从而将所述第一区域金属布线层与上层布线结构中的金属布线层相连。通过在布线结构上形成用于支撑上层布线结构的第二区域金属布线层,分散了上层布线结构对下层布线结构的压力,增加了布线结构之间支撑力,避免了布线结构出现塌陷。
  关于我们  | 帮助中心  |  服务清单  |  发展历程 |  网站地图  |  手机访问

Copyrights 2016-2020  

南京锐阳信息科技有限公司 版权所有

苏ICP备17027521号-1

地址: 南京市秦淮区永智路5号五号楼3层