本发明提供了一种使用NMP蒸汽剥离晶圆金属膜的结构，包括层叠设置的至少两层承载层，每一层承载层分别具有放置晶圆的圆孔，以及沿着承载层厚度方向贯穿设置的通孔；所述晶圆设置金属膜的一面向下设置；NMP蒸汽由承载层的底部通过通孔向上流动，使得每一层承载层放置于圆孔中的晶圆浸泡在NMP蒸汽中。上述的一种使用NMP蒸汽剥离晶圆金属膜的结构和方法，改良NMP液浸泡步骤，采用NMP蒸汽浸泡方法替代传统的NMP液浸泡方式。