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专利名称一种夹具
申请日2018-09-26
申请号/专利号CN201821573495.7
专利权人武汉新芯集成电路制造有限公司
申请人武汉新芯集成电路制造有限公司
发明人/设计人闫文帅;刘光淼
公告日2019-07-26
公告号CN209158130U
法律状态有效
专利类型实用新型
行业分类集成电路

摘要

本实用新型提供一种夹具,用于拆除连接在底座上的气体喷射器,其中包括:支架具有一通孔,通孔套设于气体喷射器的外部,以使气体喷射器自通孔穿出并至少部分位于支架的上方;升降装置对应通孔连接于支架的上方;升降装置包括:连接件用于固定气体喷射器;操作件连接连接件,并可操作地使连接件沿支架的垂直方向往复运动。本实用新型的技术方案有益效果在于:结构简单,制造成本低,技术人员可以通过该夹具的升降装置可操作地使连接件沿支架的垂直方向运动,以轻松拆除气体喷射器,解决了因手工拆除或专业拆除工具因施力不均匀而损坏气体喷射器的技术问题。
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