本发明公开了一种热法电子级磷酸脱砷方法，所述脱砷方法为：硫化钠溶液储罐中，加热后通氮气至储罐中无空气，加入磷酸进行反应；通过循环泵将磷酸打入脱砷塔，将生成的H2S通入脱砷塔中；将脱砷塔内反应充分的磷酸经过滤器后，经高纯氮气脱H2S气体进入磷酸储槽；吹脱出的多余H2S气体用碱液吸收。脱H2S气体后的磷酸经保安过滤器后进入磷酸储槽，砷含量可低至10ppb以下；吹脱出的多余H2S气体用碱液吸收，避免环境污染。通过该方法脱砷的磷酸可达行业标准，应用到大规模集成电路行业。