本实用新型公开了一种间距检测装置，应用于磁控物理气相沉积装置，磁控物理气相沉积装置包括用于产生磁场的一磁铁和用于装载靶材的一承载板；其中，间距检测装置包括量测主体、滑块、测量表和支架，量测主体套设于滑块内与滑块滑动连接，测量表固定设置在支架上，支架与滑块固定连接使得测量表的延伸方向与量测主体的所在平面垂直；其中，测量表为百分表；与现有技术相比，本实用新型通过改进间距检测装置的结构简化了测量的操作步骤，具有较大的测量范围，较小的测量误差，且具备较强的实用性。