本发明涉及一种用于表面加工的磨具及其控制方法，属于超精密加工领域。包括基座、磨头、磨粒层、可极化压电陶瓷层；所述可极化压电陶瓷层包括压电陶瓷片和条状银质层；所述各条状银质层分别设置有第一电压驱动信号输入端口，使用时根据需要加工的形状，选择压电陶瓷片上的条状银质层构成与该磨粒层驱动区域相对应的闭环回路；通过第一电压驱动信号输入端口对闭环回路内的条状银质层施加电压驱动信号U，使磨粒层表面激发出沿环向行进的弹性行波，从而使磨粒层的表面质点产生微幅椭圆运动。本发明不仅能够去除工件多余材料，实现对工件的精密加工，而且本发明可实现对被加工件的任意区域或特定区域的加工。