便携式应急电源
镀铜焊丝的缺陷检测方法、装置、设...
电码的自动识别方法及存储介质
基于强化学习的楼栋摆放方法、装置...
用于观测水下生物的系统及其方法
一种电子设备的空中固件差分升级方...
一种印刷模切张力自动控制系统及其...
低功耗状态监控设备
一种利用RTP扩展头部解决视频帧...
一种高衍射效率相位型空间光调制器...
一种家装板材运输用包装机器人
航空发动机精密管路及其航空发动机...
宽光谱吸收的薄膜太阳能电池及光伏...
一种基于磁通压缩的脉冲磁体装置及...
一种总线访问仲裁装置及方法
一种处理网络抖动的方法及装置
基于光芯片的数据处理方法、装置、...
一种基于小基线条件下的大畸变广角...
一种自动识别设备间网络拓扑结构的...
基于光芯片的数据处理方法、装置、...
企业介绍页面,左右侧内容分别复制到相应容器即可,起始结束位置代码已作标注
专利名称改善光刻胶表面粗糙度的方法
申请日2018-09-12
申请号/专利号CN201811060348.4
专利权人上海华力集成电路制造有限公司
申请人上海华力集成电路制造有限公司
发明人/设计人成智国;耿文练
公告日2018-12-21
公告号CN109062010A
法律状态审中
专利类型发明
行业分类集成电路

摘要

本发明涉及一种改善光刻胶表面粗糙度的方法,涉及半导体集成电路制造技术,包括:应用HMDS对清洗过后的晶圆表面进行疏水化处理;将经疏水化处理过后的晶圆传送至匀胶显影机的冷板冷却至室温,通过转速为ω0的旋转涂胶方法将光刻胶均匀涂布在晶圆表面;以烘焙温度T0对涂有光刻胶的晶圆进行烘干;以转速ω1旋转经烘干后的晶圆,并同时用溶剂喷淋在光刻胶表面,其中ω1<ω0;以及,以烘焙温度T1对经喷淋后的晶圆进行再次烘干,其中T1<T0,以改善光刻胶表面的粗糙度,促使晶圆后续进行更均匀、充分的曝光。
  关于我们  | 帮助中心  |  服务清单  |  发展历程 |  网站地图  |  手机访问

Copyrights 2016-2020  

南京锐阳信息科技有限公司 版权所有

苏ICP备17027521号-1

地址: 南京市秦淮区永智路5号五号楼3层