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专利名称一种调整工具
申请日2018-09-10
申请号/专利号CN201821475713.3
专利权人武汉新芯集成电路制造有限公司
申请人武汉新芯集成电路制造有限公司
发明人/设计人郑高锋
公告日2019-07-26
公告号CN209162190U
法律状态有效
专利类型实用新型
行业分类集成电路

摘要

本实用新型提供一种调整工具,用于调整在化学气相沉积工艺在镀膜过程中的加热装置的水平度,包括:一对固定架,固定架包括:水平部,水平部提供一承托面用以承托加热装置;垂直部,垂直部用以抵靠于加热装置的调节部件,垂直部设置有刻度值,刻度值对应于调节部件的垂直运动方向。本实用新型的技术方案有益效果在于:将调整工具安装于加热装置上,可以通过直观观察固定架上的刻度值来调节加热装置的调整部件,以调整加热装置的水平度,可以定量调节,方便数据的保存及后续的维修,并且不仅适用于经验丰富的技术人员的操作,也可适用于新员工的操作,进而减少了加热装置的调机时间。
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