本实用新型公开了一种气相HF熏蒸装置的进气系统及气相HF熏蒸装置，所述进气系统包括气态乙醇进气支路，在所述气态乙醇进气支路上设置有盛装有液态乙醇的容器，在所述容器上设置有氮气输入管路和乙醇输出管路，其中，所述氮气输入管路的出气口位于所述容器内的液态乙醇的液面之上，所述乙醇输出管路的一端插入液态乙醇内部。该进气系统中，氮气进入盛装有液态乙醇的容器后，由于容器内压力增大，从而将液态乙醇压入插入到液态乙醇内部的乙醇输出管路中，避免了由于液态乙醇液面的变化而影响其输出量，保证了气相HF熏蒸的加工质量和产品的可靠性。