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专利名称晶圆级封装方法及封装结构
申请日2018-09-04
申请号/专利号CN201811026706.X
专利权人中芯集成电路(宁波)有限公司
申请人中芯集成电路(宁波)有限公司
发明人/设计人罗海龙;克里夫·德劳利
公告日2020-03-10
公告号CN110875268A
法律状态审中
专利类型发明
行业分类集成电路

摘要

一种晶圆级封装方法及封装结构,晶圆级封装方法包括:提供集成有第一芯片的器件晶圆,器件晶圆包括集成有第一芯片的第一正面以及与第一正面相背的第一背面;在第一正面形成第一氧化层;提供待集成的第二芯片,第二芯片具有待键合面;在待键合面上形成第二氧化层;将第二芯片背向第二氧化层的表面临时键合于承载基板上;在承载基板上形成露出第二氧化层顶部的封装层;通过第一氧化层和第二氧化层,采用低温熔融键合工艺实现器件晶圆和第二芯片的键合。一方面,封装层对第二芯片起到支撑作用,提高熔融键合工艺的可操作性;另一方面,通过低温熔融键合工艺,第一氧化层和第二氧化层实现键合且键合强度大,从而提高封装成品率。
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