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专利名称晶圆级封装方法及封装结构
申请日2018-09-04
申请号/专利号CN201811028258.7
专利权人中芯集成电路(宁波)有限公司
申请人中芯集成电路(宁波)有限公司
发明人/设计人罗海龙;克里夫·德劳利
公告日2020-03-10
公告号CN110875232A
法律状态审中
专利类型发明
行业分类集成电路

摘要

一种晶圆级封装方法及封装结构,方法包括:提供器件晶圆;提供承载基板,在承载基板上临时键合多个芯片,芯片具有朝向承载基板的键合面,多个芯片中待屏蔽的芯片为第一芯片,且第一芯片的数量为一个或多个;在承载基板上形成覆盖芯片的封装层;形成封装层后,去除承载基板;使键合面和器件晶圆相对设置,采用低温熔融键合工艺实现器件晶圆和芯片的键合;在封装层中形成围绕第一芯片的沟槽;在沟槽中和封装层表面形成导电材料;位于沟槽中的导电材料为导电侧壁;位于第一芯片上方封装层表面的导电材料为导电层,用于与导电侧壁构成屏蔽壳体。本发明能减小封装结构的体积和厚度,且芯片与器件晶圆之间的键合强度较高。
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