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专利名称晶圆级封装方法及封装结构
申请日2018-09-04
申请号/专利号CN201811028264.2
专利权人中芯集成电路(宁波)有限公司
申请人中芯集成电路(宁波)有限公司
发明人/设计人罗海龙;克里夫·德劳利
公告日2020-03-10
公告号CN110875207A
法律状态审中
专利类型发明
行业分类集成电路

摘要

一种晶圆级封装方法及封装结构,封装方法包括:提供器件晶圆,包括多个第一芯片,第一芯片包括第一电极,且第一电极由器件晶圆露出,器件晶圆露出第一电极的面为晶圆正面;提供承载基板,在承载基板上临时键合多个第二芯片,包括第二电极,且第二电极由第二芯片露出,第二芯片露出第二电极的面为芯片正面,与芯片正面相背的面为芯片背面;使芯片背面和晶圆正面相对设置,采用熔融键合工艺使芯片背面键合于晶圆正面;对第二芯片和承载基板进行解键合处理;在第二芯片的侧壁上形成绝缘侧墙;形成保形覆盖芯片正面、绝缘侧墙和晶圆正面的导电层。本发明实现电性连接的工艺较为简单,且器件晶圆和第二芯片的键合强度较高,保证了电性连接效果。
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