便携式应急电源
镀铜焊丝的缺陷检测方法、装置、设...
电码的自动识别方法及存储介质
基于强化学习的楼栋摆放方法、装置...
用于观测水下生物的系统及其方法
一种电子设备的空中固件差分升级方...
一种印刷模切张力自动控制系统及其...
低功耗状态监控设备
一种利用RTP扩展头部解决视频帧...
一种高衍射效率相位型空间光调制器...
一种家装板材运输用包装机器人
航空发动机精密管路及其航空发动机...
宽光谱吸收的薄膜太阳能电池及光伏...
一种基于磁通压缩的脉冲磁体装置及...
一种总线访问仲裁装置及方法
一种处理网络抖动的方法及装置
基于光芯片的数据处理方法、装置、...
一种基于小基线条件下的大畸变广角...
一种自动识别设备间网络拓扑结构的...
基于光芯片的数据处理方法、装置、...
企业介绍页面,左右侧内容分别复制到相应容器即可,起始结束位置代码已作标注
专利名称一种高温热氧化机台结构
申请日2018-09-03
申请号/专利号CN201811020748.2
专利权人武汉新芯集成电路制造有限公司
申请人武汉新芯集成电路制造有限公司
发明人/设计人徐杰;乔磊
公告日2019-01-18
公告号CN109244010A
法律状态审中
专利类型发明
行业分类集成电路

摘要

本发明公开一种高温热氧化机台结构,包括:反应腔室的底部侧面设置有进气口;气体管路,气体管路连接至进气口,并延伸至反应腔室的底部,用以输送一反应气体;至少两根补偿管路,至少两根补偿管路连接至进气口,并分别延伸至反应腔室的中部与顶部;流量控制器,分别设置于至少两根补偿管路与气体管路上,用以控制至少两根补偿管路与气体管路中反应气体的流量。本发明的技术方案有益效果在于:优化高温热氧化机台结构,通过增加至少两个补偿管路,并通过流量控制器控制反应气体的流量,弥补反应气体随气流方向的损耗,以提高晶圆的薄膜质量的均匀性,进一步地提高后续晶圆刻蚀的一致性。
  关于我们  | 帮助中心  |  服务清单  |  发展历程 |  网站地图  |  手机访问

Copyrights 2016-2020  

南京锐阳信息科技有限公司 版权所有

苏ICP备17027521号-1

地址: 南京市秦淮区永智路5号五号楼3层