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专利名称锗纳米膜柔性金属型顶底双栅薄膜晶体管及其制作方法
申请日2018-08-31
申请号/专利号CN201811017174.3
专利权人天津大学
申请人天津大学
发明人/设计人秦国轩;裴智慧
公告日2019-01-08
公告号CN109166913A
法律状态审中
专利类型发明
行业分类集成电路

摘要

本发明涉及高控制力薄膜晶体管技术、柔性器件,本发明旨在提出薄膜晶体管及其制造技术方案,所述晶体管有较好的性能以及较高的工作频率和较强的栅极控制力,在柔性集成电路的制作、智能穿戴以及光电器件领域具有广泛的应用前景。为此,本发明,锗纳米膜柔性金属型顶底双栅薄膜晶体管及其制作方法,PET衬底上镀有铬金薄膜和二氧化铪栅介质膜;在上方是锗纳米膜,锗纳米膜内有两处相互间隔的掺杂区,两处掺杂区中间位置的上部为二氧化铪栅极介质层;二氧化铪栅极介质层上方是顶栅电极;两处相互间隔的掺杂区上方分别形成有源、漏栅金属电极层。本发明主要应用于柔性器件设计制造场合。
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