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专利名称 | 集成电路去除装置 |
申请日 | 2018-08-31 |
申请号/专利号 | CN201821428249.2 |
专利权人 | 合肥鑫晟光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司 |
申请人 | 合肥鑫晟光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司 |
发明人/设计人 | 张骏;张正元;曲法新;王凯;王伟;王涛;贺贝贝 |
公告日 | 2019-03-15 |
公告号 | CN208608183U |
法律状态 | 有效 |
专利类型 | 实用新型 |
行业分类 | 集成电路 |
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