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专利名称集成电路的密封环结构及其形成方法
申请日2018-08-30
申请号/专利号CN201811000801.2
专利权人格芯公司
申请人格芯公司
发明人/设计人尼古拉斯·A·波洛莫夫;文生·J·麦加贺
公告日2019-03-05
公告号CN109427691A
法律状态审中
专利类型发明
行业分类集成电路

摘要

本发明涉及一种集成电路的密封环结构及其形成方法,该密封环结构包括:限定该集成电路的一第一部分的一第一不连续密封壁,该第一密封壁形成一第一图案于一基板上,以及限定该集成电路的一第二部分的一第二不连续密封壁,该第二密封壁形成一第二图案于该基板上,且该第二部分至少部分地偏离该第一部分,其中,该第一密封壁的该第一图案与该第二密封壁的该第二图案互锁,使得该些图案交织而不相交,其中,一间隔形成于该些密封壁之间,该间隔生成通至该集成电路的一非线性路径,且其中,该密封环结构完全限定该集成电路。一种形成这种密封环结构的方法也被公开。
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