提供了一种良率预测装置。良率预测装置可以包括耦接到至少一个非暂时性计算机可读介质的至少一个处理器。所述至少一个处理器可以被配置为：接收与半导体器件的工作特性相关联的第一变量；对半导体器件的工作特性执行模拟；使用模拟结果执行神经网络回归分析，以确定针对第一变量的第一函数；以及基于高级蒙特卡罗模拟来预测半导体集成电路的良率。高级蒙特卡罗模拟的输入可以包括所确定的第一函数。