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专利名称一种降低ESD保护器件触发电压的方法
申请日2018-08-28
申请号/专利号CN201810989048.8
专利权人北京中电华大电子设计有限责任公司
申请人北京中电华大电子设计有限责任公司
发明人/设计人孙磊;余天宇
公告日2019-03-01
公告号CN109411467A
法律状态审中
专利类型发明
行业分类集成电路

摘要

本发明公开了一种降低ESD保护器件触发电压的方法,适用于集成电路中ESD防护器件的特性改进,其中所述ESD保护器件包括并联排列的多个NMOS管,所述多个NMOS管的漏极通过金属连线接到I/O端口或电源端口,多个NMOS管的栅极、源极和衬底共同接到地电位。其特征为:在所述的ESD保护器件中,NMOS管的漏极去掉了LDD注入(LightDopeDrain,低掺杂漏区)。在I/O端口或电源端口出现正ESD脉冲时,因为漏区去掉了LDD注入,漏区寄生二极管的击穿电压降低,降低了ESD保护器件的触发电压,使得并联排列的多个MOS管同时导通放电,并且低于被保护器件的失效电压,能够更好的保护内部电路,集成电路的ESD保护能力得到提高。
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